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Micro et nano-électronique

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Définitions

La microscopie électronique à balayage (MEB ou SEM pour Scanning Electron Microscopy en anglais) est une technique de microscopie électronique basée sur le principe des interactions électrons-matière, capable de produire des images en haute résolution de la surface dun échantillon. See full list on fr.wikipedia.org

Principe

Basé sur les travaux de Max Knoll et Manfred von Ardenne dans les années 1930, le principe du MEB consiste en un faisceau délectrons balayant la surface de léchantillon à analyser qui, en réponse, réémet certaines particules. Ces particules sont analysées par différents détecteurs qui permettent de reconstruire une image en trois dimensions de la s

Historique

Les travaux menés au laboratoire de Charles Oatley dans les années 1960 à luniversité de Cambridge ont grandement contribué au développement des MEB et ont conduit en 1965 à la première commercialisation par Cambridge Instrument Co. Aujourdhui, la microscopie électronique à balayage est utilisée dans des domaines allant de la biologie aux sciences


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