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Grundlagen der Vakuumtechnik

Stand 2016

Leybold GmbH

Bonner Strasse 498

D-50968 Cologne

T +49 (0) 221-347-0

F +49 (0) 221-347-1250

sales@leybold.com www.leybold.com

00.200.02

Kat.-Nr. 199 90

Grundlagen der VakuumtechnikLV_13990_2016 11.16Grundlagen_Umschlag_deut.indd 107.12.16 16:17

Vorwort

Leybold hat sich als Teil der global agieren

den Atlas Copco Gruppe zum Weltmarktführer im Bereich Vakuumtechnologie entwickelt. In dieser Führungsposition erkennen wir nicht nur Aufgabe und Herausforderung, sondern auch Verantwortung gegenüber unseren Kunden.

Produktpalette, einen leicht lesbaren Über

blick über die gesamte Vakuumtechnik geben. Die angegebenen Diagramme tech nischen Funktion vertiefen und sind keine Zusicherung von

Produkteigenschaften.

Inhaltlich erfolgte eine Erweiterung der physikalischen Grund lagen und einiger anderer Themen, da es seit der letzten Auf- berücksichtigt werden mussten. ge nauso grundlegend zur Unternehmenskultur wie fortlaufende Investitionen in Forschung und Entwicklung, die als Grundlage für neue technologische Standards und Innovationen dienen. Seit unserer 1850 andauernden Firmengeschichte haben wir im Bereich der Vakuumtechnologie umfassende Prozess und Anwendungskenntnisse angesammelt. Gemeinsam mit unseren Kunden und Partnern werden wir auch in Zukunft weitere sende Produkte entwickeln.

Grundlagen der Vakuumtechnik

Vorwort

Grundlagen der Vakuumtechnik

Grundlagen der Vakuumtechnik

Inhaltsverzeichnis

Inhaltsverzeichnis

Inhaltsverzeichnis

Inhaltsverzeichnis

1 Vakuumtechnik

Vakuumphysik

Vakuumphysik

Vakuumphysik

Tabelle 1.1

Die drei Maßsystme cgs, SI und Technisches Maßsystem

Tabelle 1.2

A A mbar 605
p gmbarmolKK Kgmol

18314293

104
11 1 A mbar== 86,5
p gmbarmolKK

Kgmol=

18314293

1028
11 1

Vakuumphysik

S V t= A A 1 S dV dt= m pVM RT= 1 mmbargmol mbar molKK=··· 10028
83300
1 11 gg=·== 2800

300830113,

1128 10

2 3 2 mbarOgO·=·

7013110

1 mbarArgAr·=· q m t m q pV t dpV dt pV q m t m q pV t pV 1 3 3

Vakuumphysik

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123
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Gas abga be

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Vakuumphysik

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